molbloc/molbox通用技术指标

molbox1+

molbox RFM
除非另行说明，否则所有技术指标均与molbox1相同。

正常工作温度范围：

15到35°C

储存温度范围：

-25到35°C

正常工作压力范围：

20到200 kPa绝压（3到30 psia）；或50到500 kPa绝压（7到70 psia）上游；或200到2000 kPa（30到300 psia），仅适用于molbox1+S。

总流量量程：

<1到5,000 slm

入口连接：
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S

1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT

出口连接：
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S

16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法兰盘
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法兰盘

支持的气体：

氮气(N2)、干空气、潮湿空气、氩(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟环丁烷(C4F8)、氙气(Xe)

流量测量

范围：

取决于molbloc的尺寸和压力校准量程（请参阅molbloc-S量程表格）

所需背压率：

0.4到0.9，取决于雷诺数

校准气体：

标准：干空气

可选：N2（取代标准空气校准或作为补充）、Ar、H2、He、N2O。有关这些气体和其他气体在特定量程内的可用性，请咨询厂家。

*湿空气操作需要进行干空气校准

molbloc-S压力校准量程：

低压力(LP)：
20到200 kPa绝压（3到30 psia），上游

标准压力(SP)：
50到500 kPa绝压（7到70 psia），上游

高压力(HP)：
200到2 MPa绝压（30到300 psia），上游

* HP校准仅适用于molbox1+S终端
*流量测试技术指标在10%到100% molbloc量程内有效

分辨率：

±0.0015% FS

±0.01%读数

精确度：

读数的±0.06％

±0.30%读数

预测的稳定度（一年期）

读数的±0.05％

读数的±0.2％

测量不确定度

读数的±0.2％
特级校准：±0.125%读数

50到500 kPa时，±0.5%读数

型号

描述

1E1-S

KF [sccm/kPa]: 10
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

2E1-S

KF [sccm/kPa]: 20
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

5E1-S

KF [sccm/kPa]: 50
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

1E2-S

KF [sccm/kPa]: 100
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

2E2-S

KF [sccm/kPa]: 200

每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

5E2-S

KF [sccm/kPa]: 500


每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

1E3-S

KF [sccm/kPa]: 1000


每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

2E3-S

KF [sccm/kPa]: 2000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

5E3-S

KF [sccm/kPa]: 5000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流元素

·        运输和存储箱

·        用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。

溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

1E4-S

KF [sccm/kPa]: 10,000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：

·        molbloc-S流量元素

·        运输和存储箱

·        用于molbloc上游连接的柔软的，可重复使用的VCR O形圈；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明

·        处于标准压力(SP)的标准不确定性校准，具有空气和经认证的校准报告。

·        高度的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。

molbloc-S校准选件

低压20到200 kPa（3到30 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）
标准压力50到500 kPa（7到70 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）
高压200到2000 kPa（30到300 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）