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用于1 sccm到100 slm流量的层流元件 molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),,需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。 特性一览 · 可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用 · 整合了过滤器,可保护其免受污染 · 完整的气体温度调节和测量 · 连续、实时的读数 · 可以实现全自动 · 无活动部件
molbloc-L量程
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