|
|
氢化物气体检测分析仪 |
|
型 号:FP-260 |
品 牌:日本理研RIKEN |
技术指标:检测半导体各种气体 |
![](../images/lxwm2.jpg) |
馆陶氢化物气体检测分析仪-FP-260-日本理研RIKEN
详细介绍 |
工业半导体净化室的理想检测仪
更适于低浓度气体检测(ppm级) 抗干扰性强 盒式带取放简便 盒带剩余量显示 |
功能描述 |
使用盒式纸带的光电光度学原理 |
盒式纸带,VHS型快速更换型盒带 |
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA,,在纸带卷动时耗能为60VA) |
物理特性 |
370mm |
275mm |
220mm |
约12kg |
持有证书 |
CE |
其它 |
检测气体和范围
检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
解析值 |
磷 PH4 |
300ppb |
0--900ppb |
5 |
四氢化硅 SiH4 |
5ppm |
0--15ppm |
0.25 |
乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0--300ppb |
5 |
砷烷AsH3 |
50ppb |
0--150ppb |
1 |
乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0--10ppm |
0.1 |
硫化氢 HS2 |
10ppm |
0--100ppm |
1 |
光气 COCl2 |
100ppb |
0--300ppb |
2 |
氯气 Cl2 |
0.5ppm |
0--100ppb |
1 |
硒化氢 H2Se |
50ppb |
0--300ppb |
2 | |
|