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技术文章
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    半导体工厂气体检测仪
    型 号:XP-703D
    品 牌:日本新宇宙
    技术指标:检测气体:半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 
    大同半导体工厂气体检测仪-XP-703D-日本新宇宙
    功能描述
    检测气体: 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
    检测原理: 热线型半导体式
    采样方式: 自动吸引式
    可检测浓度:
    0.2
    0.3
    硼乙烷 0.1
    硅烷 0.5
    氢气 1.0
    检测表示: 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
    应答速度: 10秒以内
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