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特点 带有气体采样流量自动控制功能 LCD显示,,现场状态一目了然 实现小型、轻量化 可简单地更换传感器和采样气路 带有防止传感器单元错误插入的功能 可以设定多样的维护模式 组合对应热分解单元与定电位电解式传感器,,能检测NF3等 实现了用PDA读取数据 符合CE规格,,SEMI规格
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