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技术文章
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    半导体工厂气体检测仪
    型 号:PS-2DKP
    品 牌:日本新宇宙
    技术指标:检测 SiH4(SiO2)
    海西半导体工厂气体检测仪-PS-2DKP-日本新宇宙
    型号 PS-2DKP 
    检测原理 定电位电解式+光散射式
    检测气体对象 SiH4(SiO2)
    指示范围 SiH425ppm/SiO210mg/cm3
    传感器供给电源 由各指示计组件供给
    泵电源 DC24V±10%
    可延长距离 1km(使用2mm2线)
    检测方式 泵吸引式
    防爆结构 非防爆结构
    使用温度范围 0℃~40℃
    使用电缆线 2芯+2芯屏蔽电缆线
    重量 约6.2kg

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