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基于音速喷嘴的molbloc,双指示转子流量计,气流最高可达5,000 slm molbloc-S® 是一种高精确度的传送标准,适用于校准其他传送标准或过程流量计和控制器。molbloc-S 与 molbox1+ 或 molbox RFM™ 终端配合,面板式浮子流量计,可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程,并且为中高流量提供出众的准确度。现有的 molbox1 终端配备了 4.0 或更高版本的嵌入软件,而所有 molbox1+ 终端都能与 molbloc-S 结合使用。 特性一览 · 对于 N2 和空气,覆盖高达 5,000 slm 的量程 · 可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用 · 重量校准支持可靠的流量文氏管(音速)喷嘴操作原则 · 污染物敏感度极低
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测量不确定度: · 可以使用空气、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校准气体,可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿 · 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空,可实现卓越的量程可调性(10:1 调节)。 · 冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性 · 完整的气体温度调节和测量 · 连续、实时的读数,就像传统的 molbloc-L 层流元件一样 · 可以实现全自动 molbloc-S量程 通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 KF 定义。KF 的单位为 sccm/kPa,它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 到 200 kPa(3 到 30 psia)、50 到 500 kPa(7 到 70 psia)或 200 kPa 到 2 MPa(30 到 300 psia)的上游压力相对应的量程执行的。 为了使流量测量有效,molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量是最重要的,例如,气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量,或保持 BPR 不变(molbloc-S 下游绝压除以上游绝压)。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之间,具体取决于流量的雷诺数。 由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例,molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程最大化,必须在下游连接一个真空泵,减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时,就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值,塑料浮子流量计,而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游(无真空泵),则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的最大压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能,可测量 BPR,蜗轮流量计,在 BPR 值过高时自动提示操作人员,避免在流量非关键时进行测量。
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