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基准级微压活塞压力计,提供微压溯源性
优异的测量不确定度 支持表压、绝压和绝差压测量 FPG8601支持三种不同的测量模式: · 表压模式:把FPG8601的下方压力室和测试的“低”侧连接在一起,并和环境大气压相同。 · 绝压模式:FPG8601的下方压力室被抽成真空,并用真空计测量残留真空。这种模式用于校准密封绝压的DUT。 · 绝差压模式:把FPG8601的下方压力室和测试的“低”测连接在一起并抽成真空。这种模式用于校准相对于真空的差压被检对象。 此外,FPG8601没有特殊环境要求,可安装在2m长的高质量实验台上。压力控制器常常安装在试验台下方。当需要使用绝压功能时,需要考虑真空泵的位置。如果需要,可以随系统提供定制的安装台。其工作环境要求为典型的高端计量实验室环境。
工作原理 为了避免通过在汽缸中旋转活塞来确定其中心的不稳定性和机械方面的复杂性,FPG8601活塞是通过缸体-活塞缝隙中独立流通的润滑气压来确定中心的。缝隙呈圆锥形,角闪石压力计,收缩面对称朝向活塞末端。缸体-活塞缝隙为1~6 mm,涡轮增压压力计,润滑压力比参考压力大40 kPa,保证流入到测量室的气流非常小(低于总量的1 sccm)。活塞两端的压力通过一个万向节连接系统传递到压力传感器,该系统将活塞保持在其重心。连接系统的通路也用来提供缸体-活塞润滑气。压力传感器被封闭在一个密封室内,润滑气通过该密封室流通。压力传感器密封室的设计有利于保持恒温,并且润滑气的相对湿度被保持在40~70 %之间,从而使压力传感器的性能达到最佳。
优异的测量不确定度
全自动的力平衡控制 控制器中有几个具有不同导电系数的节流阀,并自动选择与相应的压力量程相匹配的一个。有2个质量流量控制器(MFC),其中1个用于压力粗调,另1个用于压力精调,MFC并联用于调整反馈环路中的流量。根据压力设置点和 FPG8601压力测量值之差进行控制。有一个两级的压力调节器,其第二级以节流阀的下游侧为参考,它为质量流量控制器提供了一个稳定的输入压力。FPG8601 包括一个基于Windows的系统控制器。系统控制器与FPG8601硬件及被测设备进行通信。FPG Tools软件监测和控制FPG8601的工作,并支持多种高级功能,包括全自动工作、无值守测试程序并采集被测设备数据。所有的FPG8601和被测设备的数据均被记录为逗号分隔的数据文件,可方便地下载至其它应用程序进行分析。 以下为FPG Tools软件的部分功能: · 改变测量模式(表压/绝压) · 压力传感器自动调零,并自动设置跨距 · 调整数据点平均时间 · 工作状态发生过大变化时自动报警 · 在低绝压模式下进行热蒸发修正 · 被测设备设置 · 测试程序定义和储存 · 全自动测试 · 实时绘制测试结果
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