Mahr MMQ200型形状测量仪技术指标

1.      仪器测量范围

（1）工件最大直径:            230mm

（2）测量最大高度:            380mm

（3）回转主轴至立柱距离:      218mm

（4）工作台直径:              160mm

（5）工作台中心承载:          200N

2.主轴

（1）主轴精度:                0.03um+0.0005um/mm测量高度

（2）园度误差:                0.015um+0.00025um/mm测量高度

（3）轴向跳动:                0.02um+0.0001um/mm 测量半径

（4）工作台轴线可调范围:      +/- 2.5mm

（5）工作台水平可调范围:      +/- 1°

（6）主轴速度:                1-20转/分

3.立柱

（1）测量范围:                250mm

（2）直线度误差:              0.15um/100mm

（3）全程直线度误差:          0.3um

（4）Z轴与C轴平行度误差:    0.2 um/150mm;0.5um/250mm

（5）测量速度:                0.5-20 mm/s

（6）定位速度:                0.5-100 mm/s

4.水平轴

（1）测量长度:                150 mm

（2）定位速度:                0.5-30 mm/s

5.T20 W传感器

（1）测针:                    L=60mm,d= Ø3mm

（2）测杆:                    250mm

（3）测杆角度:                测杆角度在360°范围内可程序控制旋转到任何一个角度位置

（4）测量范围:                2,000 um

（5）测力:                    0.01-0.15 N,可调

（6）解析度:                  根据被测工件的情况自动选择解析度

7.软件

（1）基本元素测量:            圆度，圆柱度，直线度，重庆圆度仪，平行度，同心度，同轴度，圆度仪操作规程，径向圆跳动，径向全跳动，轴向圆跳动，轴向全跳动，平行度，垂直度，圆锥度倾斜度非完整圆

（2）滤波器选择:             15 upr LSC或2.5mm在LSS，5 rpm或5mm/s(0.2”/s)

（3）编程：                   实现全自动操作，生成程序后，可对同类或类似产品进行高效率测量

（4）异常点去除:              可手动或自动去除异常位置数据，提高计算准确率。

（5）螺旋线测量法:            能双轴连动用螺旋线法测量评定圆柱度

（6）任意点测量:              可在任意点测量，圆度仪 频谱分析，任意点结束。测量开始后无需返回起始点，从而提高了测量效率

（7）自动寻边功能:            自动寻边功能可以用来建立一个以工件为基准的坐标系进行各种测量和评定

（8）统计软件:                包含SPC统计软件,富利埃分析软件等，进行数据统计。

（9）结果打印:                支持各类打印机打印，用户可编排自需格式

（10）文件管理:               测量数据可存放装有任意马尔圆度测量软件的电脑上，以及可更换格式，存放在任意电脑

（11）自动接触:               侧头与工件可自动接触

（12）保护功能:               传感器有异常操作，以及量程负载，软件及时提示信息

8.校正标准

（1）圆度标准器:               高精度标准测量球,直径约50mm，圆度误差：0.04um

9．外部条件

（1）电源:                     交流、单相、接地（三线制）

（2）操作温度:                 10-35℃

（3）湿度:                     30-70%

（4）主机重量:                 260kg

（5）综合尺寸:                 1229×836×555mm

（6）推荐安装场地面积:         1500×1000mm＋电脑桌尺寸

二、基本配置