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半导体工厂气体检测仪 |
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型 号:PS-6ND |
品 牌:日本新宇宙 |
技术指标:检测原理:热分解,定电位电解式;NF3,CCI4用 |
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松原半导体工厂气体检测仪-PS-6ND-日本新宇宙
功能描述 |
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检测原理: |
热分解,,定电位电解式;NF3,CCI4用 |
采样方式: |
泵吸引式 |
采样配管: |
特富龙外径6/内径4mm,,配管距离20m以内;但吸着性强的气体最大配管距离为5m |
气体浓度显示: |
0~9999LED显示 |
输出信号: |
用DeviceNet的数字通信 |
流量低下信号: |
用DeviceNet的数字通信 |
适合电缆: |
电源用:KW或KW-P2芯;通信:DeviceNet专用电缆 |
使用温度: |
0℃~40℃ |
消耗电力 |
本机:约15W通信,,约2W |
电源需求 |
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电压 |
DC24±10% |
物理特性 |
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长度 |
145mm(突起部分除外) |
宽度 |
37mm |
高度 |
198mm |
重量 |
2.7kg |
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