松原氢化物气体检测分析仪-FP-260-日本理研RIKEN

详细介绍

工业半导体净化室的理想检测仪 更适于低浓度气体检测（ppm级） 抗干扰性强 盒式带取放简便 盒带剩余量显示

功能描述

使用盒式纸带的光电光度学原理

盒式纸带,VHS型快速更换型盒带

AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA，，在纸带卷动时耗能为60VA)

物理特性

370mm

275mm

220mm

约12kg

持有证书

CE

其它

检测气体和范围 检测气体 TLV值 检测范围 解析值 磷 PH4 300ppb 0--900ppb 5 四氢化硅 SiH4 5ppm 0--15ppm 0.25 乙硼烷 B2H6 100ppb 0--300ppb 5 砷烷AsH3 50ppb 0--150ppb 1 乙硅烷 SiH6 5ppm 0--10ppm 0.1 硫化氢 HS2 10ppm 0--100ppm 1 光气 COCl2 100ppb 0--300ppb 2 氯气 Cl2 0.5ppm 0--100ppb 1 硒化氢 H2Se 50ppb 0--300ppb 2