GFS通用技术规范

供电要求

天平

100至240 V交流，50至60 Hz，成丰金属浮子流量计，最大功率27 W。功耗

LCM

100至240 V交流，kurz热式质量流量计，50至60 Hz，最大功率40 W。功耗

MFC-CB

85 V至264 V交流，50至60 Hz，最大功率36 W。功耗

工作温度范围

15到25°C

湿度范围

5到70% RH（非凝结）

重量

花岗石表面（含支架）

大约320 kg (700 lb)

系统其余部分

大约70 kg (150 lb)

尺寸

花岗石表面（含支架）外围

150 cm高x 90 cm宽x 60 cm深(58 in. x 36 in. x 24 in.)

LCM

8 cm高x 22.5 cm宽x 20 cm深(3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)

MFC-CB

8 cm高x 22.5 cm宽x 20 cm深(3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.)

GFS-FS

20 cm高x 41.4 cm宽x 20 cm深(7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.)

支持的气体

氮气(N2)、空气、氩气(Ar)、一氧化碳(CO)、氦气(He)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、六氟化硫(SF6)、氙气(Xe)

流量测量范围

至少：

He、H2

100 sccm到10 slm

所有其他气体

10 sccm到10 slm

压力连接件
封壳的出口流量路径

1/8” Swagelok管装置或等效装置，气体质量流量计，使用1/4” Swagelok管装置或等效装置的适配器

参考气体套筒压力极限

20 MPa (3000 psi)

CE认证证书

提供，明渠流量计，必须指定

型号

描述

GFS2102

动态重力分析质量流量系统