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流量测量主机 |
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| 型 号：molbox RFM |
| 品 牌：美国FLUKE |
| 技术指标：用户手册、校准证书、电源线、(2) molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器 |
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伊犁流量测量主机-molbox RFM-美国FLUKE
molbox RFM是一个辅助单元，可使用molbloc-L层流和molbloc-S声速流元件进行质量流量测量。
molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据，并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻，然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性，可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下时，可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。
molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛，适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说，molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。要配置质量流量校准系统，请查看随后几页，选择 molbloc 和压力相关校准，以便更好的覆盖您的流量量程和压力状况。molstic 安装系统和 COMPASS® for
molbox 流量校准软件可以帮您完善系统。
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结构紧凑
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molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm
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从 20 种不同的气体中选择
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利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数
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内部阀门，可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持
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包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数
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完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信
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利用可由用户设置的参考压力和温度状态，测量质量和体积流量
· 流量测量技术指标
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molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差，或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程，取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校准和量程详情。
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molbloc-L 量程最高可达 3E4，可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和精确度。对于 1E5-L molbloc，必须使用微量程选项才能达到技术指标。
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molbox RFM
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molbloc-L（量程从1E1-L到3E4-L）
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molbloc-S（所有量程）
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测量更新速率
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1秒
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1秒
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范围
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到molbloc满刻度，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L量程表）
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流量相对于20 kPa到200 kPa绝压（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa绝压（7 psia到70 psia）上游
（请参阅molbloc-S量程表）
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分辨率
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0.01% FS
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±0.01%读数
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线性
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±0.23%读数，从10%到100% FS
±0.023% FS，，在10% FS以下
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±0.25%读数
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重复性
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±0.1%读数，从10%到100% FS
±0.01% FS，在10% FS以下
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±0.1%读数
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精确度1
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±0.25%读数，从10%到100% FS
±0.025% FS，在10% FS以下
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±0.3%读数
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预测的稳定度2
（一年期）
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±0.15%读数，从10%到100% FS
±0.015% FS，在10% FS以下
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读数的±0.2％
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测量不确定度3
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±0.5%读数，从10%到100% FS
±0.05% FS，在10% FS以下
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±0.5%读数，从50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@
50 kPa从20 kPa到50 kPa
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具有微量程选项的molbox RFM
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molbloc-L（量程从1E1-L到3E4-L）
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molbloc-L（量程仅仅是1E5)
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测量更新速率
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1秒
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1秒
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范围
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从0到molbloc满刻度，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L表格）
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从0到molbloc满刻度，，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L表格）
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分辨率
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0.01% FS，0.001% FS以下
10% FS
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0.01% FS
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线性
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±0.23%读数，从1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下
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±0.25%读数，从5%到100% FS
±0.0125% FS，在5% FS以下
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重复性
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±0.1%读数，从1%到100% FS
±0.001% FS，在1% FS以下
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±0.2%读数，从5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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精确度1
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±0.25%读数，从1%到100% FS
±0.0025% FS，在1% FS以下
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±0.32%读数，从5%到100% FS
±0.016% FS，在5% FS以下
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预测的稳定度2
（一年期）
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±0.15%读数，从1%到100% FS
±0.0015% FS，在1% FS以下
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±0.2%读数，从5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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测量不确定度3
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±0.5%读数，从1%到100% FS
±0.005% FS，在1% FS以下
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±0.5%读数，从5%到100% FS
±0.025% FS，在5% FS以下
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· molbloc-S（所有量程）
·
除了没有微量程以外，其他技术指标与 molbox RFM 相同。只要将 molbox RFM 连接到 molbloc-S 上，就会禁用微量程传感器。
· 1 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。
· 2 预测的稳定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型环境下使用时一年内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，，因此应该根据经验建立特定 molbox RFM 的稳定度。
· 3 测量不确定度：molbox RFM 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和 DHI 校准标准不确定度。molbloc 的测量不确定度技术指标仅适用于使用的是 molbloc 校准过的气体的情况。所有 molbloc 都针对 N2 校准过。其他气体的校准是可选的。并非所有规格的 molbloc 在所有时间，对所有气体都提供 DHI 校准功能。请在订购前检查是否可用。
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型号
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描述
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Molbox
RFM
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molbox RFM参考流量监控器
包含：
用户手册、校准证书、电源线、(2)
molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器
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5141-100
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molbox RFM, molbloc 5E1-L 10
to 100 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E1-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-1K
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molbox RFM, molbloc 5E2-L 100
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-10K
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molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to
10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-50K
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molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to
50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-1K
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molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-10K
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molbox RFM-M, molbloc 5E3-L
0.1 to 10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-50K
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molbox RFM-M, molbloc 3E4-L
0.5 to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5144-50K
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molbox RFM-M, molblocs 5E2-L
and 3E4-L10 sccm to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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通用配件:
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配件
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描述
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MFC-CB控制盒
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MFC-CB控制盒
包括：
（2）MFC/MFM连接线套件
校准线
电源线
操作与维护手册
校准报告
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针对molbloc/molbo用户的校准辅助软件
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molstic-L安装系统
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molstic-S安装系统
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RFM-RMK
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机架安装工具
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RFM
02
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微量程
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缂備礁鍊哥换鎺椼€呴埡鍛閻庯綆浜滆ぐ鍡涙煕濞嗗繑鍟為柛銊︽皑缁晝鈧絺鏅濋懝锟�1948濡ょ姷鍋犻幓顏嗘濠靛鍙婃い鏍ㄧ懅閻燁垶鏌ｉ敐鍛伇闁轰礁鎽滈埀顒佺⊕閸旀牜绮婄€靛憡瀚氶柡鍥╁仒缁憋綁鏌涜箛娑辨婵炲牊鍨堕敍鎰板幢濡ゅ﹤娈奸梺鍏兼緲閹锋垹妲愬┑鍥х窞婵﹩鍓欑€ｂ偓闂佸搫顦崕鑽ゆ濠靛绀嗘繛鎴旀噰閸嬫捇鎮╅崣澶婎伅闂佸憡鐟﹂崹鐢告儓瀹ュ棛顩查柛鈩冩礈椤忓崬鈽夐幙鍐х敖濠㈣甯為埀顒冾潐濮樸劌鈻撻幋锕€绠柍褜鍓熷鐢割敍濮橀硸浼嬮梺闈╁鐏忋劎妲愬┑鍥┾枖闁告繂瀚崐妤€鈽夐幙鍐х盎濞村吋鍔栫粙澶婎潩妫版繃娈梺绯曟櫇閸犳劘銇愭担鍦懝婵炴垶顨堥崯濠偯归崗璁扮懓顔忓┑瀣剭闁告洦鍓涢妶鎾⒑閹绘帞绠伴柟閿嬫緲铻為柍褜鍓欓湁閻庯綆鍋呭▍濠囨⒒閸涱喚鐭嗗Δ鐘叉喘瀹曨偅鎷呯喊妯轰壕闁稿本绮犲ú璺ㄧ磼閸屾艾顏╅柛妯煎█閹啴宕熼鐔告闂佽鎸抽弨閬嶅礂濠婂牊鍎庨柡宥庡幗濡椼劍顨ラ悙鎻掔殹缂佽鲸绻堝畷鐘诲川椤旂⒈浠鹃梺鐟扮亪閸嬫捇鏌￠崼顐㈢仧婵懓顦靛畷銊ノ熺化鏇炰壕濞达綁鏅茬槐锝囩磼鐎ｎ亶鍎忕紒妞诲亾闂侀潧妫斿ù鍥敇閹间焦鐓傞煫鍥у閻粙鏌涘☉娆嬬細闁烩剝鍨圭划鍨緞濞戞氨顦繛瀵稿У閻楁柨饪伴幋锕€绀嗛柍鍝勫暞閺嗗繒绱掗崒姘辩妞も斁鏅犲畷妤冣偓锝庡墯閻ｈ鲸绻涢弶鎴創闁伙富鍨伴蹇涘Ψ閵夈儱绶柡澶嗘櫆缁嬫牠銆侀幋婵愬晠闁靛鍊楅悷褰掓煟閳ь剙濡块柡浣规倐婵″瓨鎷呴悜妯绘瘎闂侀潻绲婚崝蹇涱敊閺囩喎绶為柛銉戝嫬顏柡澶嗘櫅濞层劑鍩㈡總绋垮唨闁炽儱鍟垮▍娆撴煟閵娿儱顏╅柣锝冨妿閹叉宕ㄩ鐔蜂壕濞达綀顫夊▍濠囨⒒閸涱喚鐭庨柣锔界墵瀵剟顢橀悙鏉戭伅缂備胶濯寸槐鏇㈠箖婵犲洦鏅悘鐐测偓鐔风彲婵炲濮伴崕鏌ヮ敆濠靛绠崇憸宥夊春濡ゅ啯瀚婚柕濞炬櫅濞呫倝鏌曢崱妤€鈧鍒掗悩宸晠闁靛鍊楅悷褰掓煙鐠ㄥ鍟悡鎴犵磼椤栨繂鍚圭紒顔芥そ閹啴宕熼銈嗘闁荤喍绀侀幊鎾绘儍閻旂儤瀚氶柡鍥╁仜閻撳倿寮堕埡浣瑰窛闁宠鍚嬬粋鎺楊敂閸ャ儮鍋撻崘顔藉剭闁告洦鍓涙晶鈥澄旈悩鑼伇婵烇綆鍣ｉ獮搴ㄥΧ韫囨洜顦繛瀵稿Т妤犳悂鎮块崟顒夋閻忕偟鐡旈崥鍥╃磼椤旇棄鍔ら柣锔藉灥闇夐悗锝庡枛濞呫倝鏌涢幒鎾愁€滄い鎾虫憸缁螖娴ｅ湱鐨荤紓鍌氬暞閸ㄥ湱鍒掗崼鏇熷剭闁告洦鍓氬▍濠囨⒒閸涱喚鐭庨柣锔界墵瀵剟顢橀妸褏顦紓浣稿€哥换鎺椼€呴埡鍛閻庯綆鍓氶悾鍗灻瑰┃鐘插暞閹倿鎮介锝呮灈濠殿噮浜畷銉╁礋椤曞懏鏂€闂佸憡鑹剧€氼亞绮悢鍏煎剭闁告洦浜為悷褰掓煕閺冩挾绡€闁绘繍鍣ｅ顐﹀醇閿濆洨顓奸柡澶屽剱閸撴瑩骞忛悧鍫⑩枖鐎广儱妫欓悞浠嬫煕濞嗘劕鐏ラ柣顐㈢Ч婵℃挳宕掑顓″惈闁哄鏅涘ú銈夌嵁閹剧粯鍎嶉柛鏇ㄤ簽鐎瑰顨ラ悙鐢电瘈闁煎灚鍨块弫宥呯暆閳ь剟銆呯€靛摜鐭夐柛鏇ㄥ亜鐢剟鏌ｉ妸銉ヮ仾缂佷礁顕幏鐘诲即閻愭壆鐭楅梺绋跨箻閺€鍗灻洪崸妤€鍙婃い鏍ㄤ亢閺変粙鏌ゆィ鍐╂暠闁伙絺鏅犻幊锟犳晲韫囨洜顦柣鐘欎礁鐏╃紒鎯伴哺缁傚秹宕遍幇銊ヤ壕濠电姴鍟伴妶鎾偣閸ャ劍纾荤紒妤€鑻湁閻庯綆鍠栧▍銈呪槈閹惧澧遍柡鍜佸亰婵″鈧綆鍋呮禒妯好归敐鍫熺彧缂佷礁顕幏鐘诲即閻愭壆鐭楅梺绋跨箰閸㈡煡銆冨☉銏犖ュù锝囶暯閸嬫挻绻濋崘銊ょ帛闂佸憡甯熷▔娑欏閹邦喚鐭欓悗锝冨妷閸嬫挾鈧綆浜欑槐锝囩磼鐎ｎ亶鍎忕紒妞诲亾闂備緡鍋勯ˇ鎵偓姘ュ妽缁轰粙寮介銈嗘儯50婵犮垼鍩栭惌顕€鏌屽⿰鍫㈠祦闁哄鍨甸濠偯瑰┃鐘插暞閹倸鈹戦崒娑氬⒌闁靛棗绉归弫宥囦沪闂傚闉嶉梺绋跨箰婢у海鑺遍崸妤€绀勯柛鈩冨姀閸嬫挻鎷呯憴锝呬壕闁归偊鍠楅弳蹇涙煏閸℃洜顦﹂柣锝冨姂瀹曟濡搁敐鍌氫壕濞达絿枪閻忥繝鏌￠崒娑橆棆婵炲牊鍨块幃褏鎲撮崟銊ヤ壕鐟滄垿鍩€椤掆偓閼活垶藝椤掑嫬鐭楁俊銈傚亾闁告瑥绻橀幃鍫曞礃椤忓懏娈㈤梺鐟邦嚟閺屽绮嬮幇顔藉殧濠㈣泛鐗冮崑鎾绘晸閿燂拷
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