张家口音速喷嘴流量元件-molbloc-S-美国FLUKE
基于音速喷嘴的molbloc，气流最高可达5,000 slm
molbloc-S® 是一种高精确度的传送标准，适用于校准其他传送标准或过程流量计和控制器。molbloc-S 与 molbox1+ 或 molbox RFM™ 终端配合，可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程，并且为中高流量提供出众的准确度。现有的 molbox1 终端配备了 4.0 或更高版本的嵌入软件，而所有 molbox1+ 终端都能与 molbloc-S 结合使用。
特性一览
·
对于 N2 和空气，覆盖高达 5,000 slm 的量程
·
可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
·
重量校准支持可靠的流量文氏管（音速）喷嘴操作原则
·
污染物敏感度极低
·
测量不确定度：
对于 molbox1+，可达到 ±0.125% 读数
对于 molbox1，可达到 ±0.2% 读数
对于 molbox RFM，可达到 ±0.5% 读数
·
可以使用空气、N2、Ar、H2、He、N2O 和其他校准气体，可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿
·
利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空，可实现卓越的量程可调性（10:1 调节）。
·
冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性
·
完整的气体温度调节和测量
·
连续、实时的读数，就像传统的 molbloc-L 层流元件一样
·
可以实现全自动
molbloc-S量程
通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 KF 定义。KF 的单位为 sccm/kPa，它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游压力相对应的量程执行的。
为了使流量测量有效，molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量是最重要的，例如，气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量，或保持 BPR 不变（molbloc-S 下游绝压除以上游绝压）。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之间，具体取决于流量的雷诺数。
由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例，molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程最大化，必须在下游连接一个真空泵，减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时，就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游（无真空泵），则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的最大压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能，可测量 BPR，在 BPR 值过高时自动提示操作人员，避免在流量非关键时进行测量。
|
molbloc/molbox通用技术指标
|
|
|
molbox1+
|
molbox RFM
除非另行说明，否则所有技术指标均与molbox1相同。
|
|
正常工作温度范围：
|
15到35°C
|
|
|
储存温度范围：
|
-25到35°C
|
|
|
正常工作压力范围：
|
20到200 kPa绝压（3到30 psia）；或50到500 kPa绝压（7到70 psia）上游；或200到2000 kPa（30到300 psia），仅适用于molbox1+S。
|
|
|
总流量量程：
|
<1到5,000 slm
|
|
|
入口连接：
1E1-S到1E2-S
2E2-S到2E3-S
5E3-S和1E4-S
|
1/4 in. VCR™
1/2 in. VCR™
1 in. VCR™或1 in. NPT
|
|
|
出口连接：
5E1-S到2E3-S
5E3-S、1E4-S
|
16 mm (3/4 in.) ISO-KF型真空法兰盘
40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF型真空法兰盘
|
|
|
支持的气体：
|
氮气(N2)、干空气、潮湿空气、氩(Ar)、一氧化碳(CO)、氦(He)、氧气(O2)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、三氟甲(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)、氢气(H2)、甲烷(CH4)、一氧化二氮(N2O)、丙烷(C3H8)、六氟化硫(SF6)、丁烷(C4H10)、八氟环丁烷(C4F8)、氙气(Xe)
|
|
|
流量测量
|
|
范围：
|
取决于molbloc的尺寸和压力校准量程（请参阅molbloc-S量程表格）
|
|
|
所需背压率：
|
0.4到0.9，取决于雷诺数
|
|
|
校准气体：
|
标准：干空气
可选：N2（取代标准空气校准或作为补充）、Ar、H2、He、N2O。有关这些气体和其他气体在特定量程内的可用性，请咨询厂家。
*湿空气操作需要进行干空气校准
|
|
|
molbloc-S压力校准量程：
|
低压力(LP)：
20到200 kPa绝压（3到30 psia），上游
标准压力(SP)：
50到500 kPa绝压（7到70 psia），上游
高压力(HP)：
200到2 MPa绝压（30到300 psia），上游
* HP校准仅适用于molbox1+S终端
*流量测试技术指标在10%到100% molbloc量程内有效
|
|
|
分辨率：
|
±0.0015% FS
|
±0.01%读数
|
|
精确度：
|
读数的±0.06％
|
±0.30%读数
|
|
预测的稳定度（一年期）
|
读数的±0.05％
|
读数的±0.2％
|
|
测量不确定度
|
读数的±0.2％
特级校准：±0.125%读数
|
50到500 kPa时，±0.5%读数
|
|
型号
|
描述
|
|
1E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
10
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
2E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
20
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
5E1-S
|
KF [sccm/kPa]:
50
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
1E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
100
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
2E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
200
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
5E2-S
|
KF [sccm/kPa]:
500
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
1E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
1000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
2E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
2000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
5E3-S
|
KF [sccm/kPa]:
5000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流元素
· 运输和存储箱
· 用于上游连接的可重复使用的柔软VCR O形圈；ISO-KF和安装说明；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 标准压力(SP)的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。
溢价的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
1E4-S
|
KF [sccm/kPa]: 10,000
每个molbloc-S在交付时都附带以下内容：
· molbloc-S流量元素
· 运输和存储箱
· 用于molbloc上游连接的柔软的，可重复使用的VCR O形圈；用于molbloc下游连接的ISO-KF样式定心环、夹具和超压环；安装说明
· 处于标准压力(SP)的标准不确定性校准，具有空气和经认证的校准报告。
· 高度的不确定性、HP或LP压力校准以及其他可用的校准气体-咨询机构或工厂。
|
|
molbloc-S校准选件
|
低压20到200 kPa（3到30 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）
标准压力50到500 kPa（7到70 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）
高压200到2000 kPa（30到300 psia）
molbloc上游（指定溢价或标准）
|
