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氢化物气体检测分析仪 |
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| 型 号：FP-260 |
| 品 牌：日本理研RIKEN |
| 技术指标：检测半导体各种气体 |
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自贡氢化物气体检测分析仪-FP-260-日本理研RIKEN
| 详细介绍 |
工业半导体净化室的理想检测仪
更适于低浓度气体检测（ppm级）
抗干扰性强
盒式带取放简便
盒带剩余量显示 |
| 功能描述 |
| 使用盒式纸带的光电光度学原理 |
| 盒式纸带,VHS型快速更换型盒带 |
| AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA，，在纸带卷动时耗能为60VA) |
| 物理特性 |
| 370mm |
| 275mm |
| 220mm |
| 约12kg |
| 持有证书 |
| CE |
| 其它 |
检测气体和范围
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检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
解析值 |
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磷 PH4 |
300ppb |
0--900ppb |
5 |
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四氢化硅 SiH4 |
5ppm |
0--15ppm |
0.25 |
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乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0--300ppb |
5 |
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砷烷AsH3 |
50ppb |
0--150ppb |
1 |
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乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0--10ppm |
0.1 |
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硫化氢 HS2 |
10ppm |
0--100ppm |
1 |
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光气 COCl2 |
100ppb |
0--300ppb |
2 |
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氯气 Cl2 |
0.5ppm |
0--100ppb |
1 |
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硒化氢 H2Se |
50ppb |
0--300ppb |
2 | |
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