|
|
|
半导体工厂气体检测仪 |
|
| 型 号：PS-6ND |
| 品 牌：日本新宇宙 |
| 技术指标：检测原理：热分解，定电位电解式；NF3,CCI4用 |
 |
瑞安半导体工厂气体检测仪-PS-6ND-日本新宇宙
| 功能描述 |
|
| 检测原理： |
热分解，，定电位电解式；NF3,CCI4用 |
| 采样方式： |
泵吸引式 |
| 采样配管： |
特富龙外径6/内径4mm，，配管距离20m以内；但吸着性强的气体最大配管距离为5m |
| 气体浓度显示： |
0～9999LED显示 |
| 输出信号： |
用DeviceNet的数字通信 |
| 流量低下信号： |
用DeviceNet的数字通信 |
| 适合电缆： |
电源用：KW或KW-P2芯；通信：DeviceNet专用电缆 |
| 使用温度： |
0℃～40℃ |
| 消耗电力 |
本机：约15W通信，，约2W |
| 电源需求 |
|
| 电压 |
DC24±10% |
| 物理特性 |
|
| 长度 |
145mm(突起部分除外） |
| 宽度 |
37mm |
| 高度 |
198mm |
| 重量 |
2.7kg |
|
