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流量测量主机 |
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| 型 号：molbox RFM |
| 品 牌：美国FLUKE |
| 技术指标：用户手册、校准证书、电源线、(2) molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器 |
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乐清流量测量主机-molbox RFM-美国FLUKE
molbox RFM是一个辅助单元，可使用molbloc-L层流和molbloc-S声速流元件进行质量流量测量。
molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据，并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻，然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性，可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下时，可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。
molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛，适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说，molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。要配置质量流量校准系统，请查看随后几页，选择 molbloc 和压力相关校准，以便更好的覆盖您的流量量程和压力状况。molstic 安装系统和 COMPASS® for
molbox 流量校准软件可以帮您完善系统。
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结构紧凑
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molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm
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从 20 种不同的气体中选择
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利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数
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内部阀门，可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持
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包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数
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完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信
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利用可由用户设置的参考压力和温度状态，测量质量和体积流量
· 流量测量技术指标
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molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差，或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程，取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校准和量程详情。
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molbloc-L 量程最高可达 3E4，可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和精确度。对于 1E5-L molbloc，必须使用微量程选项才能达到技术指标。
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molbox RFM
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molbloc-L（量程从1E1-L到3E4-L）
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molbloc-S（所有量程）
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测量更新速率
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1秒
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1秒
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范围
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到molbloc满刻度，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L量程表）
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流量相对于20 kPa到200 kPa绝压（3 psia到30 psia）或20 kPa到200 kPa绝压（7 psia到70 psia）上游
（请参阅molbloc-S量程表）
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分辨率
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0.01% FS
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±0.01%读数
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线性
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±0.23%读数，从10%到100% FS
±0.023% FS，在10% FS以下
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±0.25%读数
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重复性
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±0.1%读数，从10%到100% FS
±0.01% FS，在10% FS以下
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±0.1%读数
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精确度1
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±0.25%读数，从10%到100% FS
±0.025% FS，在10% FS以下
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±0.3%读数
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预测的稳定度2
（一年期）
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±0.15%读数，从10%到100% FS
±0.015% FS，在10% FS以下
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读数的±0.2％
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测量不确定度3
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±0.5%读数，从10%到100% FS
±0.05% FS，在10% FS以下
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±0.5%读数，从50 kPa到500 kPa，±0.5%流量@
50 kPa从20 kPa到50 kPa
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具有微量程选项的molbox RFM
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molbloc-L（量程从1E1-L到3E4-L）
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molbloc-L（量程仅仅是1E5)
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测量更新速率
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1秒
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1秒
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范围
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从0到molbloc满刻度，，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L表格）
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从0到molbloc满刻度，取决于气体和molbloc压力
取决于校准类型（请参阅molbloc-L表格）
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分辨率
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0.01% FS，0.001% FS以下
10% FS
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0.01% FS
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线性
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±0.23%读数，从1%到100% FS；±0.0023% FS，在1% FS以下
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±0.25%读数，从5%到100% FS
±0.0125% FS，在5% FS以下
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重复性
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±0.1%读数，从1%到100% FS
±0.001% FS，在1% FS以下
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±0.2%读数，，从5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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精确度1
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±0.25%读数，从1%到100% FS
±0.0025% FS，在1% FS以下
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±0.32%读数，从5%到100% FS
±0.016% FS，在5% FS以下
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预测的稳定度2
（一年期）
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±0.15%读数，从1%到100% FS
±0.0015% FS，在1% FS以下
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±0.2%读数，从5%到100% FS
±0.01% FS，在5% FS以下
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测量不确定度3
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±0.5%读数，从1%到100% FS
±0.005% FS，在1% FS以下
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±0.5%读数，从5%到100% FS
±0.025% FS，在5% FS以下
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· molbloc-S（所有量程）
·
除了没有微量程以外，其他技术指标与 molbox RFM 相同。只要将 molbox RFM 连接到 molbloc-S 上，就会禁用微量程传感器。
· 1 精确度：包含线性度、迟滞和可重复性。
· 2 预测的稳定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型环境下使用时一年内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测，，因此应该根据经验建立特定 molbox RFM 的稳定度。
· 3 测量不确定度：molbox RFM 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差，包括精确度、稳定度和 DHI 校准标准不确定度。molbloc 的测量不确定度技术指标仅适用于使用的是 molbloc 校准过的气体的情况。所有 molbloc 都针对 N2 校准过。其他气体的校准是可选的。并非所有规格的 molbloc 在所有时间，对所有气体都提供 DHI 校准功能。请在订购前检查是否可用。
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型号
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描述
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Molbox
RFM
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molbox RFM参考流量监控器
包含：
用户手册、校准证书、电源线、(2)
molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器
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5141-100
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molbox RFM, molbloc 5E1-L 10
to 100 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E1-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-1K
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molbox RFM, molbloc 5E2-L 100
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-10K
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molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to
10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5141-50K
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molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to
50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-1K
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molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10
to 1,000 sccm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-10K
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molbox RFM-M, molbloc 5E3-L
0.1 to 10 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E3-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5142-50K
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molbox RFM-M, molbloc 3E4-L
0.5 to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
3E4-L laminar flow element
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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5144-50K
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molbox RFM-M, molblocs 5E2-L
and 3E4-L10 sccm to 50 slm
Included:
· molbox
RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor
with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line
cord and user manual
· molbloc
5E2-L and 3E4-L laminar flow elements
· molstic-L
mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and
precise flow metering valve for each molbloc-L
· Tubing
and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in
tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in
BSP male
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通用配件:
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配件
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描述
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MFC-CB控制盒
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MFC-CB控制盒
包括：
（2）MFC/MFM连接线套件
校准线
电源线
操作与维护手册
校准报告
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针对molbloc/molbo用户的校准辅助软件
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molstic-L安装系统
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molstic-S安装系统
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RFM-RMK
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机架安装工具
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RFM
02
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微量程
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缁傚繒顩╅崗瀣彆閸欏憡鍨氱粩瀣╃艾1948楠炶揪绱濋弰顖欑瑯閻ｅ瞼鏁哥€涙劖绁寸拠鏇炰紣閸忛娈戞０鍡楊嚤閼板拑绱濇径姘嬀閺夈儻绱濋崚娑⑩偓鐘叉嫲閸欐垵鐫嶆禍鍡曠娑擃亞澹掔€规氨娈戦幎鈧張顖氱閸︾尨绱濇稉鍝勬倗娑擃亜浼愭稉姘额暙閸╃喐褰佹笟娑楃啊娴兼ǹ宸濋惃鍕ゴ闁插繐鎷板Λ鈧ù瀣櫊闂呮粈楠囬崫浣碘偓鍌滎洿缁傚嫬鍘犻惃鍕暏閹撮攱鍏滈惄鏍桨楠炲尅绱濋崠鍛閹垛偓閺堫垯姹夐崨妯糕偓浣镐紣缁嬪绗€閵嗕浇顓搁柌蹇庢眽閸涙ḿ鐡戠粵澶涚礉娴犳牔婊戦崚鈺冩暏缁傚繒顩╅崗瀣畱濞村鐦銉ュ徔鏉╂稖顢戝銉ょ瑹閻€劎鏁搁妴浣烘暩閸ｃ劏顔曟径鍥ф嫲鏉╁洨鈻奸弽鈥冲櫙閻ㄥ嫬鐣ㄧ憗鍛偓浣规櫊闂呮粏鐦栭弬顓炴嫲缁狅紕鎮婇敍灞借嫙娴犮儲顒濋幒褍鍩楃拹銊╁櫤閵嗗倷绮犲銉ょ瑹閹貉冨煑缁崵绮洪惃鍕暔鐟佸懓鐨熺拠鏇炲煂鏉╁洨鈻兼禒顏囥€冮惃鍕墡妤犲瞼娣幎銈忕礉娴犲骸鐤勬灞筋吇缁儳鐦戝ù瀣櫤閸掓媽顓哥粻妤佹簚缂冩垹绮堕惃鍕櫊闂呮粏鐦栭弬顓ㄧ礉缁傚繒顩╅崗瀣畱娴溠冩惂鐢喖濮崥鍕攽閸氬嫪绗熼惃鍕瑹閸旓繝鐝弫鍫ｇ箥鏉烆剙鎷版稉宥嗘焽閸欐垵鐫嶉妴鍌氭躬鏉╁洤骞撻惃鍕安楠炵繝鑵戦敍宀€顩寸粋鍕帬閻ㄥ嫭绁寸拠鏇炰紣閸忛攱娲块弰顖氳杽閼鹃攱鐣╅懡锝忕礉鐠с垹绶辨禍鍡愨偓濠冪ゴ鐠囨洑绗屽ù瀣櫤娑撴牜鏅妴瀣付娴ｈ櫕绁寸拠鏇炰紣閸忓嘲顨涢妴浣碘偓濠冨付閸掕泛浼愮粙瀣ㄢ偓瀣紣缁嬪绗€闁瀚ㄦ總鏍搼50婢舵矮閲滈獮鏉戝娴溠冩惂婵傛牠銆嶉敍灞间簰閸忓墎绨块崙鍡愨偓浣解偓鎰暏閵嗕礁鐣ㄩ崗銊ｂ偓浣稿灡閺傛壆娈戦悧瑙勨偓褑鈧苯顦崣妤€鍙忛悶鍐暏閹寸柉绂愮懢澶堚偓锟�
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