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    流量测量主机
    型 号:molbox RFM
    品 牌:美国FLUKE
    技术指标:用户手册、校准证书、电源线、(2) molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器
    临夏流量测量主机-molbox RFM-美国FLUKE

    molbox RFM是一个辅助单元,可使用molbloc-L层流和molbloc-S声速流元件进行质量流量测量。

    molbloc 流量元件通过两个压力连接件和一根数据线连接到 molbox RFM 上。molbox RFM 从 molbloc EEPROM 读取校准数据,并利用其内置的高精度参考压力传感器 (RPT) 测量 molbloc 的上游压力和下游压力。欧姆测量系统读取 molbloc 铂电阻测温仪的电阻,然后由此计算 molbloc 温度。利用存储在 molbox RFM 内存中的 molbloc 校准数据、压力、温度和气体属性,可计算出通过 molbloc 的气流流速。对于 molbloc-L 流量元件,在流量量程 10% FS 以下时,可以选择微量程选项来提高流量测量分辨度和精确度。

    molbox RFM 和 molbloc 流量元件应用广泛,适用于需要高精确度测量低气流的测量、测试和校准应用。对于主要考虑结构紧凑、量程可调性高、成本较低的应用来说,molbox RFM 是理想之选。第二种型号 molbox1+ 针对的优先考虑不确定度的应用。要配置质量流量校准系统,请查看随后几页,选择 molbloc 和压力相关校准,以便更好的覆盖您的流量量程和压力状况。molstic 安装系统和 COMPASS® for molbox 流量校准软件可以帮您完善系统。

    ·         结构紧凑

    ·         molbloc-L 覆盖的流量量程从 1 sccm 到 100 slm,而 molbloc-S 覆盖的流量上限更是达到了 5000 slm

    ·         从 20 种不同的气体中选择

    ·         利用 100:1 可调性实现认证的测量不确定度 ±0.5% 读数

    ·         内部阀门,可实现内置的清洗、泄漏测试和自重支持

    ·         包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高级测量函数

    ·         完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 远程通信

    ·         利用可由用户设置的参考压力和温度状态,测量质量和体积流量

    ·        流量测量技术指标

    ·         molbox RFM 可测量通过 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作压力和压力差,或者 molbloc-S 的流量量程、绝压量程,取决于所使用的 molbloc 元件和校准选项。请参阅 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表,了解校准和量程详情。

    ·         molbloc-L 量程最高可达 3E4,可通过微量程选项提高在 10% FS 以下时的分辨率和精确度。对于 1E5-L molbloc,必须使用微量程选项才能达到技术指标。
     

    molbox RFM

     

    molbloc-L(量程从1E1-L到3E4-L)

    molbloc-S(所有量程)

    测量更新速率

     

    1秒

    1秒

    范围

    到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力

    取决于校准类型(请参阅molbloc-L量程表)

    流量相对于20 kPa到200 kPa绝压(3 psia到30 psia)或20 kPa到200 kPa绝压(7 psia到70 psia)上游

    (请参阅molbloc-S量程表)

    分辨率

    0.01% FS

    ±0.01%读数

    线性

    ±0.23%读数,从10%到100% FS

    ±0.023% FS,在10% FS以下

    ±0.25%读数

    重复性

    ±0.1%读数,从10%到100% FS

    ±0.01% FS,在10% FS以下

    ±0.1%读数

    精确度1

    ±0.25%读数,从10%到100% FS

    ±0.025% FS,在10% FS以下

    ±0.3%读数

    预测的稳定度2
    (一年期)

    ±0.15%读数,从10%到100% FS

    ±0.015% FS,在10% FS以下

    读数的±0.2%

    测量不确定度3

     

    ±0.5%读数,从10%到100% FS

    ±0.05% FS,在10% FS以下

    ±0.5%读数,从50 kPa到500 kPa,±0.5%流量@

    50 kPa从20 kPa到50 kPa

    ·          

    具有微量程选项的molbox RFM

     

    molbloc-L(量程从1E1-L到3E4-L)

    molbloc-L(量程仅仅是1E5)

    测量更新速率

    1秒

    1秒

    范围

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力

    取决于校准类型(请参阅molbloc-L表格)

    从0到molbloc满刻度,取决于气体和molbloc压力

    取决于校准类型(请参阅molbloc-L表格)

    分辨率

    0.01% FS,0.001% FS以下

     10% FS

    0.01% FS

    线性

    ±0.23%读数,从1%到100% FS;±0.0023% FS,在1% FS以下

    ±0.25%读数,从5%到100% FS

    ±0.0125% FS,在5% FS以下

    重复性

    ±0.1%读数,从1%到100% FS

    ±0.001% FS,在1% FS以下

    ±0.2%读数,从5%到100% FS

    ±0.01% FS,在5% FS以下

    精确度1

    ±0.25%读数,从1%到100% FS

    ±0.0025% FS,在1% FS以下

    ±0.32%读数,从5%到100% FS

    ±0.016% FS,在5% FS以下

    预测的稳定度2
    (一年期)

    ±0.15%读数,从1%到100% FS

    ±0.0015% FS,在1% FS以下

    ±0.2%读数,从5%到100% FS

    ±0.01% FS,在5% FS以下

    测量不确定度3

    ±0.5%读数,从1%到100% FS

    ±0.005% FS,在1% FS以下

    ±0.5%读数,从5%到100% FS

    ±0.025% FS,在5% FS以下

    ·        molbloc-S(所有量程)

    ·         除了没有微量程以外,其他技术指标与 molbox RFM 相同。只要将 molbox RFM 连接到 molbloc-S 上,就会禁用微量程传感器。

    ·        1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。

    ·        2 预测的稳定度:典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型环境下使用时一年内从零到范围值的最大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbox RFM 的稳定度。

    ·        3 测量不确定度:molbox RFM 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的最大偏差,包括精确度、稳定度和 DHI 校准标准不确定度。molbloc 的测量不确定度技术指标仅适用于使用的是 molbloc 校准过的气体的情况。所有 molbloc 都针对 N2 校准过。其他气体的校准是可选的。并非所有规格的 molbloc 在所有时间,对所有气体都提供 DHI 校准功能。请在订购前检查是否可用。

    型号

    描述

    Molbox RFM

    molbox RFM参考流量监控器

    包含:

    用户手册、校准证书、电源线、(2) molbox RFM到molbloc压线、(1) molbox RFM到molbloc数据线、(2)直通压力快速连接器

    5141-100

    molbox RFM, molbloc 5E1-L 10 to 100 sccm

    Included:

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E1-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-1K

    molbox RFM, molbloc 5E2-L 100 to 1,000 sccm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-10K

    molbox RFM, molbloc 5E3-L 1 to 10 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E3-L laminar flow element

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5141-50K

    molbox RFM, molbloc 3E4-L 5 to 50 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 3E4-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-1K

    molbox RFM-M, molbloc 5E2-L 10 to 1,000 sccm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-10K

    molbox RFM-M, molbloc 5E3-L 0.1 to 10 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E3-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5142-50K

    molbox RFM-M, molbloc 3E4-L 0.5 to 50 slm

    Included: 

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 3E4-L laminar flow element 

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

     

    5144-50K

    molbox RFM-M, molblocs 5E2-L and 3E4-L10 sccm to 50 slm

    Included:

    ·        molbox RFM (5141 kits) or molbox RFM-M (5142 and 5144 kits) reference flow monitor with quick connect molbloc pressure lines, molbloc communication cable, line cord and user manual

    ·        molbloc 5E2-L and 3E4-L laminar flow elements

    ·        molstic-L mounting system, with fine pressure regulator and an isolation valve and precise flow metering valve for each molbloc-L

    ·        Tubing and adaptors to connect gas supply and device under test, including 1/4 in tube fitting, 1/4 in NPT female, 1/4 in NPT male, 1/8 in NPT male and 1/4 in BSP male

    通用配件:


    配件

    描述

    MFC-CB控制盒

    MFC-CB控制盒

    包括:
    (2)MFC/MFM连接线套件
    校准线
    电源线
    操作与维护手册
    校准报告

    针对molbloc/molbo用户的校准辅助软件

    molstic-L安装系统

    molstic-S安装系统

    RFM-RMK

    机架安装工具

    RFM 02

    微量程

     

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